工業廢氣主要包括有害氣體、煙塵、異味和噪聲等，不同的污染物具有不同的特點和性質，因此工業廢氣凈化裝置采用不同的處理技術，例如：物理吸附，化學吸收，氧化還原，催化反應和生物處理等。
物理吸附：利用吸附材料吸附廢氣中的污染物質，常見的吸附劑有炭黑、活性炭、分子篩等。其原理基于選擇性吸附分子，可以實現高效去除SO2、NOx等廢氣成分。
化學吸收：把廢氣與氧化劑浸沒，在其中加入一種堿性液體媒介，在廢氣中的有毒氣體分解成不易揮發的氣體，如碳酸鈉等。是一種消毒效果較好的物質，還有助于去除二氧化硫和惡臭氣味。
氧化還原：將廢氣通過反應釜，在催化劑的作用下水解、氧化或還原成不同的無毒環境友好形態。常用的材料包括石墨、活性鋁和氧化物等，例如選擇性催化還原對揮發性有機物(VOCs)處理更為有效，此方法對室內污染環境防治的使用增加不少。
催化反應：利用催化劑促進化學反應，常見的催化劑有氧化鋁、三氧化二鐵等。常用于許多領域, 如汽車尾氣凈化、丙烯腈凈化等，此技術被認為是典型的凈化方式之一。
生物處理：通常適用于高濃度的廢氣排放中，主要利用微生物的本身代謝功能及微生物群體形成的生態系統作用，清除大量的污染物。同時可以根據不同的處理環境進行自適應性改良，主要實現有厭氧發酵、生物膜法等。
工業廢氣凈化裝置的應用范圍主要包括以下幾個方面：
石油化工行業：石化企業、合成樹脂、橡膠工業、瀝青工業等。
電子電鍍行業：印刷電路板、化學鍍銅、化學鍍錫、鍍鎳、化學拋光、電鍍廢水、垃圾填埋場等
印染造紙行業：染料制造、織造印染、毛皮加工和制鞋業等
制藥行業：固體制劑生產、液體制劑生產、生化制品生產、疫苗生產等。
建材行業：陶瓷生產、玻璃生產、非金屬礦物制品、水泥制品生產等。
冶金工業：鋼鐵冶煉、有色冶煉等。
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